近日，据韩媒thelec报道称，ASML CEO彼得·温宁克(Wennink)表示，公司计划今年生产约40台极紫外光（EUV）设备，到2022年将扩大到55台，到2023年将扩大到60台。而EUV设备交货时间也将从之前的18个月缩短到12到18个月。

 

据了解，ASML是唯一一家生产用于高端晶圆制造的EUV设备供应商。这些设备每台耗资1500亿韩元-2000亿韩元（8.44-11.26亿元人民币）。ASML从德国公司采购设备所需的镜头。然而，它每年可以购买的镜头数量有限，这导致设备生产时间较长。

 

温宁克表示，其三大DRAM客户都计划使用EUV进行批量生产，预计2021年这些公司将花费12亿欧元购买EUV设备，未来向这些公司供应的EUV设备将会增加。

 

同时，ASML也开始生产其名为NXE 3600D的新型EUV设备。与前代3400C相比，该设备的生产率提高了15% 到20%，叠加率提高了30%。该公司表示，从2022年起，所有EUV设备将达3600D。