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三星电子开发出透光率达88%的EUV薄膜

发布时间:2023-01-16 责任编辑:lina

【导读】三星电子在2021年在代工厂论坛上宣布自主研发EUV薄膜(pellicle)的消息,据ETNews报道,在2022年底三星电子完成透光率达88%的EUV薄膜产品开发,并可以大规模生产。


三星电子开发出透光率达88%的EUV薄膜


三星电子在2021年在代工厂论坛上宣布自主研发EUV薄膜(pellicle)的消息,据ETNews报道,在2022年底三星电子完成透光率达88%的EUV薄膜产品开发,并可以大规模生产。


报道指出,韩国的EUV薄膜一直被外部厂商垄断,三星电子开发EUV薄膜,是为应对未来的需求变化并实现供应多样化,供应链多元化和稳定值得期待。业界预测,今年EUV薄膜的需求将比去年增加近2倍。报道表示,最早在1~2年内,韩国国产EUV薄膜将应用于商用化、量产生产线。


根据此前报道,除了开发自己的EUV薄膜外,三星电子还在推动与国内主要材料公司的合作。据台媒DIGITIMES报道,三星电子将在其3nm工艺中采用透光率超过90%的最新EUV薄膜以提高良率,这些薄膜将来自韩国公司S&S Tech。


S&S Tech在2021年生产成功开发出了透光率达90%的半导体EUV薄膜,并宣布最早将于2023年上半年进入透光率超过90%的EUV薄膜的批量生产。(来源:集微网)

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