【导读】“泰科天润是国内第一条碳化硅功率器件量产公司，也是首家碳化硅原厂，拥有碳化硅专用高温离子注入机、碳膜溅射台和高温退火炉等尖端设备。”在慕尼黑上海电子展上，泰科天润市场与商务合作部产品顾问韩珂如是说。
“泰科天润是国内第一条碳化硅功率器件量产公司，也是首家碳化硅原厂，拥有碳化硅专用高温离子注入机、碳膜溅射台和高温退火炉等尖端设备。”在慕尼黑上海电子展上，泰科天润市场与商务合作部产品顾问韩珂如是说。
据介绍，2015年，泰科天润成为国内首家引进高温离子注入机的企业。高温离子注入机的意义在于其决定了碳化硅产品是否可量产。如今国内拥有高温离子注入机的企业也不足5家。
韩珂表示，泰科天润目前产品以600~3300V碳化硅肖特基二极管为主，公司已拥有19项专利。如今年产5000片4英寸碳化硅。随着品牌的提升，5000片的产能已经不能满足客户的需求了，因此有扩产建厂的规划。
