【导读】据麦姆斯咨询报道，苏州知芯传感技术有限公司（以下简称“苏州知芯”）推出纯自研基于MEMS扫描微镜的结构光投射模组M02A2，此投射模组可以在60°x 50°的光学视场内投射出超过200条重复度好、稳定性高、信噪比高的结构光线条。
该投射模组具有尺寸小、功耗低、自定义编码结构光等优点，可以灵活地安装于各种工业应用场景。在生物识别、工业自动化、焊接机器人、三维物体重建等场景中，有广阔的应用价值。
M02A2型结构光投射模组
S14型MEMS扫描微镜
M02A2型结构光投射模组通过捕捉一维MEMS振镜的振动状态，同时调制线激光的开断时间和激光光强，将调制后的线激光投射并构成二维光栅图形。将工业相机与M02A2型结构光投射模组的接口搭配，拍摄调制后的光栅图形，通过三角测距算法、相位计算方法，即可得到线激光投射面的三维点云数据，实现了对被投射物体的快速、精准测绘。
M02A2型结构光投射模组的投射条纹图
M02A2型结构光投射模组使用苏州知芯自主研发的S14型一维MEMS静电微镜。通过工艺优化和系统匹配，S14芯片实现了一系列的优势，如角度反馈优势等。通过芯片内部集成角度反馈结构，角度反馈结构采用差分方式以降低外界噪声影响，具有完美的线性度，可以实时地准确反馈出微镜转角。在减小结构光投射模组体积、功耗的前提下，保障了编码结构光条纹的输出质量。
S14型MEMS微镜主要参数
在自研自产结构光投射模组和MEMS一维静电扫描微镜的同时，苏州知芯把握MEMS微镜行业的发展动态，分析各种MEMS微镜的优缺点，在激光雷达、智能无人车、扫地机器人等微镜应用领域也进行了紧密的布局。结合市场对MEMS微镜提出的需求，尤其是对更大扫描角度和更大镜面尺寸的迫切需求，苏州知芯又成功开发出了多款压电MEMS微镜芯片，该类压电MEMS微镜芯片具有：可靠性强、重复度好、可量产性高、镜面大、角度广等特点。
以其中型号为P11的二维MEMS压电微镜芯片为例，镜面直径达3mm，快轴和慢轴频率均在1.5kHz以上，可以实现光栅扫描、李萨如扫描，其光学谐振扫描角度可超过120°，准静态光学扫描角度也可超过20°。
苏州知芯研发的多款压电MEMS微镜图
依托人才的优势，掌握MEMS微镜芯片设计、工艺制造、集成封装等自主核心技术，苏州知芯正积极向3D测量和识别、激光导航、工业机器人等应用领域开拓，努力成为MEMS微镜芯片及其应用领域的领头羊，为中国MEMS产业发展添砖加瓦。
苏州知芯传感技术有限公司聚焦MEMS传感器、驱动器领域，自主研制高性能MEMS芯片及解决方案，致力于成为一流的MEMS器件及系统集成服务商。其总部位于苏州，在无锡、南京、重庆分别设有分支机构。
苏州知芯作为国产MEMS芯片企业，坚持自主研发与创新，公司已经拥有30多项自主知识产权。2020年以来，公司先后通过了ISO9001质量认证，国家高新技术企业，获得了国家人社部2021年度“最具成长潜力的留学人员创业企业”，苏州姑苏创新创业领军人才等荣誉。
公司将秉承“成为一流的MEMS企业”愿景，加速布局国产化替代领域，为客户提供更多更好的选择。
来源：MEMS
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