【导读】据麦姆斯咨询报道，服务多重电子应用领域的全球半导体行业领导者、MEMS顶级制造商意法半导体（STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM），近日宣布推出第三代MEMS传感器产品系列。新一代MEMS传感器将为智能手机、消费类智能产品、医疗保健和零售终端在性能和功能方面带来又一次飞跃。
- 意法半导体第三代MEMS技术提高了传感器的精度和能效；
- 部分MEMS产品具有额外功能，包括边缘机器学习（ML）以及静电传感。
MEMS技术是强大的运动、环境等微型传感器的基石，这些传感器为当今的智能手机和可穿戴设备提供了直观的情境感知功能。现在，意法半导体的新一代MEMS技术将传感器性能提升到了新的高度，超越了现有市售产品在输出精度和功耗方面的技术限制。新一代MEMS传感器可以为活动检测、室内导航和精密工业传感等应用提供业界最高的精度。同时，它们还可以保持较低的功耗以延长运行时间。
部分MEMS产品具有的额外功能包括意法半导体的机器学习内核（MLC）和静电传感。MLC为以极低功耗运行的边缘应用带来了自适应的机器学习功能。电荷变化（QVAR）感应通道通过智能手表或健身手环中与身体接触或非接触式感应（雷达）来监测静电电荷的变化。带有QVAR的意法半导体MEMS传感器可以增强用户界面控制，以确保无缝交互，或简化湿度和冷凝检测。雷达模式应用包括人员存在检测、活动监控以及人员计数。
意法半导体MEMS营销总监Simone Ferri表示：“开创性的新一代产品基于意法半导体在MEMS专业知识和工艺技术方面的广泛投入和历史积累。除了彻底革新传感器的性能，我们还通过可选的静电传感和机器学习来进一步扩展它们的功能。由此提供了为Onlife时代做好准备的新一代MEMS传感器，通过始终存在、始终在线以及始终连接，使智能生活更透明、更顺畅。”
此次推出的新一代传感器包括LPS22DF和LPS28DFW（防水）大气压力传感器，其工作电流为1.7 µA，绝对压力精度为0.5 hPa。LPS28DFW具有双满量程功能，能够在水下和水上提供精确的垂直定位。其满量程范围可选择最大1260 hPa或4060 hPa，相当于约30 m深度处的水压。这两款传感器可以提高便携式设备和可穿戴设备（包括运动手表）的高度计和气压计性能。典型的工业应用包括天气监测和精确水深传感等。
新款三轴MEMS加速度计LIS2DU12，专门用于构建具有主动抗混叠功能的卓越超低功耗架构。其抗混叠滤波器的电流消耗是市场上最低的。LIS2DU12在100 Hz输出数据速率（ODR）下电流消耗仅3.5 µA，也是第一款带I3C接口的市售MEMS加速度计。所有这些功能都集成在最小的2.0 mm x 2.0 mm x 0.74 mm封装中。这款加速度计非常适用于可穿戴设备、助听器、真无线立体声（TWS）耳机、无线传感器节点以及任何必须进行系统优化的应用。
新款6轴iNEMO惯性模块LSM6DSV16X包含QVAR静电传感，以及MLC和有限状态机（FSM），可增强响应并节省电源，其工作电流可低至12 µA。新的FSM可实现自适应自配置（ASC），由此，该6轴MEMS器件可以感知情境，并在不唤醒系统的情况下自行重新配置，从而实现显著的额外节能效果。这款产品即将投入量产，已在一种静电雷达应用中进行了演示，用于用户检测以加速唤醒笔记本电脑。
新款压力传感器LPS22DF提供2.0 mm x 2.0 mm x 0.73 mm 10-lead LGA封装（eStore有售），LPS28DFW提供2.8 mm x 2.8 mm x 1.95 mm 7-lead LGA封装（eStore提供免费送样），这两款产品目前已在量产，可通过分销商采购，售价1.90美元起。LIS2DU12和LSM6DSV16X计划于2022年晚些时候推出。
关于意法半导体
意法半导体拥有48000名半导体技术的创造者和创新者，掌握半导体（含MEMS）供应链和先进的制造设备。作为一家全球领先的半导体器件制造商，意法半导体与二十多万家客户、数千名合作伙伴一起研发产品和解决方案，共同构建生态系统，帮助他们更好地应对各种挑战和新机遇，满足世界对可持续发展的更高需求。意法半导体的技术让人们的出行更智能、电力和能源管理更高效、物联网和5G技术应用更广泛。意法半导体承诺将于2027年实现碳中和。
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