传感器是3次元世界与信息系统之间的网关。脱离3D技术是无法准确且有效的测量3次元世界现象的。因此，株式会社村田制作所（以下简称“村田”）运用特有的3D MEMS技术开发了MEMS惯性传感器。

 

村田的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成，可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术，能保证量产与稳定的价格。此外，村田还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀（DRIE：Deep Reactive Ion Etching)等MEMS制造的特有技术。

 

构造和原理

 

村田的3D MEMS采用晶圆级工艺封装（密封）。粒子、化学品等无法进入密封的传感器中，可靠性得到了保证。村田已率先在玻璃晶圆上使用硅通孔，减小产品空间尺寸，实现了封装工艺的简单化。配合用途，加速度传感器、陀螺仪的压力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量，可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号，也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号，用途广泛。使用SiP(System in Package)，将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装，常被用于汽车产品及工业产品。

 

以下是村田的3种MEMS传感器的简单介绍：

 

1. MEMS倾角传感器

该高精度数字3轴倾角传感器除了传统重力加速度的输出之外，还能以一定角度输出。不仅具有低噪音和稳定的偏置特性，还拥有自我诊断功能。主要的用途例有：

水平仪

倾斜补偿

机器控制

结构健康监测

惯性测量装置(IMUs)

机器人

定位导航系统

 

MEMS倾角传感器

 

2. 加速度传感器

 

村田的加速度传感器采用坚固的MEMS设计，即使在严酷环境下，也能实现高精度、高稳定性。传感器元件采用的是过阻尼结构。在ASIC中，包含有储存着校正系数的片上EEPROM存储器。该产品具有在高温高湿环境中以及对应温度变化时的优异性能和高可靠性。测量方向根据型号的不同可与贴装面平行，也可与贴装面垂直。常见的应用例有：

车身控制装置

斜坡启动辅助（HSA）

大灯调平

恶劣环境下的惯性测量装置

 

加速度传感器

 

3. 陀螺仪加速度组合传感器

 

该组合传感器是将陀螺仪传感器和3轴加速度传感器一体化，实现了高水平的温度特性，冲击灵敏度和偏置稳定性。常见的应用例有：

车身电子稳定控制（ESC）

翻转检测用传感器（ROV）

导航系统

先进驾驶辅助系统

惯性测量装置（IMUs）

平台的稳定与控制

机械控制系统

斜坡启动辅助

 

陀螺仪加速度组合传感器

 

如您对以上几种产品感兴趣，欢迎莅临村田展台参观了解详细的产品信息。

 

2019年8月28日（周三）－8月30日（周四）

2019汽车电子技术展览会（AWC）

地址：深圳会展中心

村田展位：5号馆E20

 

我们在展会现场与您不见不散哦！