【导读】青岛芯笙近期推出多款气体质量流量计和质量流量控制器产品，成功打通从MEMS芯片到流量检测仪表和算法的全链条核心技术，成为青岛市仅有的几家掌握MEMS核心芯片技术的高科技企业之一。
据麦姆斯咨询报道，青岛芯笙微纳电子科技有限公司（中文简称：青岛芯笙，英文简称：Xinnovis）专注于微小气体流量测控产品的研发和生产。近期，青岛芯笙采用工业级MEMS流量传感器解决方案，开发出下一代高性能气体质量流量计产品，主要面向分析仪器、实验室、氢能，以及真空镀膜等应用市场。
图1 青岛芯笙研发的流量传感器芯片
图2 青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器（左）和MFM-50系列气体质量流量计（右）
随着国家对国产仪器和半导体设备的重视和支持，国内分析仪器产业、半导体装备产业实现了快速发展。作为分析仪器和半导体装备的核心部件，气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主，国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计，MEMS气体质量流量计基于热传导原理对气体质量流量进行高精确测量，该类型产品不受温度和压力等环境参数影响，成为全球最为广泛使用的高精度微小气体流量测控技术。
青岛芯笙MFM-50系列气体质量流量计，采用航空级铝合金基座和Exia IIC T4 Ga本安型防爆设计，具有精度高（最低0.5%）、量程比宽（500:1）、响应速度快（最快15ms）、温漂小（0.01% F.S./℃）、性价比高、一体化集成等优点，适用于实验室安全用气改造、氢能、生物制药、钎焊等行业。
青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器，具有独特的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。
青岛芯笙WIN M/S系列微型数字风速计，为国内首创产品，采用经济、紧凑型封装方式，在8.5mm x 6mm x 3.3mm的封装体积内同时实现了温度和风速的测量。该产品可以集成在空调、新风系统、防爆柜、通风柜等设备中，实现最大25m/s的风速测量，并具有0.02m/s的高分辨率。
“公司虽然在2020年才成立，但我们在MEMS流量传感器芯片方面已经进行了八年多的前期研发。”青岛芯笙创始人陶继方博士介绍，“目前，公司已逐步驶入发展快车道，产品在投入市场后，获得已获得一大批客户的认可，其中包括多家大型上市企业。后续公司将继续加大投入，也更加专注在微小气体流量测控这一细分领域，目标成为半导体、气体分析仪等领域的核心零部件供应商。”
推荐阅读：
