【导读】CyberOptics® Corporation宣布，1月31日至2月2日韩国国际半导体工业技术展(SEMICON Korea)期间，公司将在首尔世贸中心洲际酒店(Seoul COEX)的#A418号展位上展出其搭载全新ParticleSpectrum™软件的下一代空气颗粒传感器技术(APS3) 300mm。
CyberOptics的WaferSense® APS3以无线方式实时检测、识别和监控空气颗粒，有助于提高半导体晶圆厂的设备安装速度和长期产量。CyberOptics的空气颗粒传感器已被确定为已知的最佳方法(BKM)，经证明，与传统的表面扫描晶片法相比，可节省多达90%的时间，成本降低高达95%，产量提升高达20倍，同时人力资源需求减少了一半。
APS3测量装置更纤薄、重量更轻，可轻松穿过半导体工具，同时提供业界领先的对全球设备和工艺工程师至关重要的精度和灵敏度。APS3解决方案整合了ParticleSpectrum软件，该软件具有全新的触屏界面，设计有用户友好的功能，可轻松简便地实时读数、记录和审核小型到大型空气颗粒数据。
CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示：“全球半导体晶圆厂和原始设备制造商一直依赖我们成熟可靠的空气颗粒传感技术实现产量的显著提高。现在，我们已让装置变得更纤薄、重量更轻，并实现了与ParticleSpectrum的集成，ParticleSpectrum软件包使用十分简便，工程师们定将受益无穷。”
在韩国国际半导体工业技术展(SEMICON Korea)期间，CyberOptics还将推出一款专为平板显示器(FPD)市场设计的新型空气颗粒传感器。
关于WaferSense 和ReticleSense系列
WaferSense测量产品组合包括自动水平测量系统(ALS)、自动间隙测量系统(AGS)、自动振动测量系统(AVS)、自动校准系统(ATS)、空气颗粒传感器(APS)以及新型自动多传感器(AMS)，根据具体设备的不同，目前可提供各种不同晶片外形尺寸的产品，包括150mm、200mm和300mm晶片尺寸。包括空气颗粒传感器(APSR & APSRQ)、自动水平测量系统(ALSR)以及自动多传感器(AMSR)在内的ReticleSense测量产品组合采用十字线外观。
如需了解关于CyberOptics全系列解决方案的更多信息，请访问公司官网。
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