【导读】盛密科技经过技术人员的不懈努力，于今日正式发布全新的4系列氯化氢电化学传感器：4SM HCL-10。该传感器顺利通过了全套严苛的性能验证。我们来看看它的各项性能。
盛密科技经过技术人员的不懈努力，于今日正式发布全新的4系列氯化氢电化学传感器：4SM HCL-10。
该传感器顺利通过了全套严苛的性能验证。我们来看看它的各项性能。
响应曲线
上图是30只4SM HCL-10传感器通1分钟空气和4分钟10ppm的HCl气体的测试数据。
线性
上图是30只4SM HCL-10传感器分别通入空气、4ppm、6ppm、8ppm和10ppm的HCl气体的测得结果，在0~10ppm内，线性判决系数R²为0.9937。
重复性
上图是30只4SM HCL-10传感器分别6次通入10ppm的HCl气体的响应曲线，当输出稳定之后记录输出值，6次的相对标准偏差RSD均小于2%。
分辨率
上表是16只4SM HCL-10传感器的测试结果，分辨率2倍STDEV在3ppb以内。
长时间测试
上图是30只4SM HCL-10传感器通入10ppm的HCl气体30分钟的测试结果，平均变化率在10%以内。
交叉干扰
通过上表可以看出，5000 ppm的乙醇对于4SM HCL-10 传感器无干扰。
不受乙醇干扰的传感器非常适用于半导体行业制程控制。
产品亮点
4SM系列氯化氢传感器（4SM HCL-10）已具备:
亮点1：分辨率高，2倍标准偏差分辨率在3ppb以内，能符合半导体行业所涉及气体的TLV-TWA阈值都很低的情况。
亮点2：抗乙醇干扰，非常适用于半导体行业制程控制。
亮点3：稳定性佳，传感器长时间工作灵敏度变化小。
盛密科技（上海）有限公司
公司主要产品有电化学气体传感器、红外气体传感器、光离子化PID传感器、传感器模块、传感器模组、辐射报警设备等。成立九年以来，公司一直处于稳步增长状态。公司在技术方面锐意革新，现已拿到多项专利，并荣获高新技术企业、专精特新企业、科技小巨人培育企业等称号。
来源：盛密科技
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