（图片来源：佛山日报）

 

据悉，该产品是集成电路装备核心零部件，可广泛适用于等离子体应用，具有输出功率大、精确可调、不间断输出、故障实时反馈、操作简便、响应速度快等特性。

 

季华实验室（先进制造科学与技术广东省实验室）是2017年底广东省委、省政府启动的首批4家广东省实验室之一，聚焦先进材料、智能机器人、精密仪器与智能装备、增材制造、微电子设备及关键零部件、精准医疗仪器、智慧家居等主要研究方向，由科技部原副部长曹健林担任理事长和主任。

 

在此次会议上，曹健林表示，实验室将争取让集成电路零部件产业技术创新联盟在佛山设立首个产业园。佛山对实验室给予资金和产业政策、人才政策等支持，这种支持在全国都有竞争力。

 

 

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