晶圆厂加速设备的招标

长江存储正处于爬坡期，相较其他产线，长江存储产线国内厂商中标率更高，长江存储的密集招标有望推动国产化率加速提升。中国国际招标网 6 日披露，长江存储发布第 40、41 批国际招标公告，招标产品包括钛化学气相沉积 - 氮化钛原子层沉积机台、厚氮化硅立式低压化学气相沉积设备、立式超高温退火设备等。

 

SEMI 在关于全球半导体晶圆厂设备投资的最新报告中预测，2021 年全球晶圆厂设备支出将迎来标志性一年，将达到创纪录的 677 亿美元，增长率达 24%。具体而言，存储器工厂将以 300 亿美元的设备支出领先全球半导体领域，3DNAND 闪存将在今年推动 30%的投资激增，从而推动支出狂潮，在 2021 年实现 17%的增长。受疫情影响，上半年本土晶圆厂招标放缓。随着新冠肺炎疫情逐渐好转，本土晶圆厂的设备招投标重启，今年下半年有望加速。自 3 月以来，华力集成、合肥晶合、中芯国际开启招投标，中微公司、北方华创、华海清科等中标多个设备订单。

 

另据东吴证券称就在上月 20 日，长江存储实施的国家存储器基地项目二期项目近日在武汉东湖高新区开工，规划产能 20 万片 / 月，达产后与一期项目合计月产能将达 30 万片。此外，长江存储于今年 4 月官宣：128 层 QLC 3D NAND 研发成功并在多家客户通过验证，从 64 层跨过 72/96 层，直接进入 128 层。近年来，长江存储逐渐向国内半导体设备厂商释放订单。据东吴证券陈显帆 6 日报告统计，截至 7 月初，长江存储已累计释放 2048 台工艺设备，其中国产设备 290 台，国产化率 14%。其中，北方华创中标 3 台刻蚀设备，3 台薄膜沉积设备及 4 台退火设备，对应领域占比分别为 6%、5%和 18%;中微半导体中标 9 台刻蚀设备，占比 19%;华海清科中标 6 台 CMP 设备，占比 18%;精测电子中标 3 台检测设备，占比 13%。

 

至 2022 年，由于技术储备与量产爬坡更为成熟，国家存储器基地项目二期产能爬坡也有望持续超预期，因此整体而言长江存储产能扩张与资本开支均呈现加速状态。许兴军认为，一方面，半导体设备市场规模与下游晶圆厂的资本开支具备高度同步;另一方面，长江存储是国内重要的生产线，对国产设备导入意愿强烈，尤其是在后期技术更加成熟、产能规模更大的情况下，国产设备份额有望进一步提升。

 

国内半导体设备的“领头羊”都有所突破

中国半导体行业协会理事长周子学认为中国集成电路上半年形势逆势上扬。背后说明行业特殊性，不会跟旅游业，餐饮业一样，因为交通中断而受到毁灭性打击。在抗疫中，所用的电子信息产品，许多是增加的，尤其是网络产品。推到产业链上游，软就是软件，硬的部分都是集成电路，抗疫过程中，许多领域，集成电路应用是增长的，比如测温相关应用。

 

半导体是高度国际化产业，没有一个国家是关门发展的。这次抗击疫情经验说明，产业发展面临挑战时，需要秉持开放合作理念，加强沟通和交流。新应用、新市场，需要更加开放，交流合作，共同推动产业创新和发展。

 

2018 年中国半导体设备五强分别为中微公司、北方华创、中电科电子装备集团、盛美半导体和沈阳芯源微。晶圆制造设备占半导体设备八成以上，其中最关键的设备是光刻机、等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备等。

 

1、中微公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线，该公司自主研制的 5nm 等离子体刻蚀经台积电验证，性能优良。2、北方华创 28nm 硅刻蚀设备已经量产。该公司主要客户包括中芯国际、长江存储、华虹集团、隆基股份和三安光电等。3、万业企业主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池、新型平板显示和集成电路领域。4、盛美半导体主要提供半导体清洗设备、镀铜设备等先进装备解决方案，其研发产品也进入多家国内外半导体制造和封测厂商。5、芯源微生产的涂胶 / 显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在 LED 芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节已成功实现进口替代；用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备产品目前正在长江存储、上海华力等厂商进行验证。

 

在半导体材料方面，半导体硅片是半导体制造的核心材料，约占半导体制造材料的三分之一。沪硅产业主要从事半导体硅片的研发、生产和销售，是中国大陆规模最大的半导体硅片制造企业之一。其子公司上海新昇率先实现 300mm 硅片规模化销售，打破了 300mm 半导体硅片国产化率几乎为零的局面。